熱流束マイクロセンサー

HFM : 熱流束マイクロセンサーは、表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを 窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイスです。この熱流センサーは差動型サーモパイル で、高精度に高密度に配置された上下ペアーの熱電対と熱抵抗層からなる三層の複合パターンで構成されています。
熱がHFMの表面に流入/流出すると、各熱電対ペアーが挟んでいる熱抵抗層に温度差が生じ、流入/流出している熱量に 比例した電圧が発生します。

vatell21

特長
  • 最高速の応答(約 6μ秒)
  • 外部冷却不要で 850℃まで稼動
  • 低雑音
  • 従来の薄膜センサーの10倍高感度
  • センサー表面の熱流束と温度を測定
  • 伝導、対流、輻射に等感度

アプリケーションの例

  • エンジン内壁の熱伝達状態観察
  • ロケットエンジンのトラバース実験
  • タービンブレード熱風洞試験
  • 自動車用エアーバッグ安全性試験
  • ジェットエンジンのバックファイヤー試験

▼ 標準仕様
  HFM-6D/H
高温用
HFM-7E/L
低温用
HFM-7E/H
高温用
HFM-8E/L
低温用
HFM-8E
高温用
最高表面温度(℃) 850 300 700 300 700
応答速度(μs) 6±2 6±2 6±2 6±2 6±2
標準感度 (μV/W/cm2) 8±2 150±10 150±10 150±10 150±10
HFMインピーダンス(Ω) 1000 2500 2500 2500 2500
サーモパイル プラチナ /
プラチナロジウム
クロメル /
コンスタンタン
クロメル /
コンスタンタン
クロメル /
コンスタンタン
クロメル /
コンスタンタン
温度センサー 白金抵抗体 白金抵抗体 白金抵抗体 白金抵抗体 E型熱電対
ハウジング ニッケル ニッケル 銅 / ニッケル
配線 ミネラルシース
350℃
テフロン
220℃
ミネラルシース
350℃
テフロン
220℃

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